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測(cè)高儀是放置于平臺(tái)上進(jìn)行單軸測(cè)量的儀器，理想的擺放平臺(tái)是花崗石平臺(tái)。

根據(jù)使用的測(cè)量系統(tǒng)可將測(cè)高儀分為：

光柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

感柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

容柵測(cè)量系統(tǒng)測(cè)高儀

不同的型號(hào)配置對(duì)應(yīng)不同的使用環(huán)境，在車間現(xiàn)場(chǎng)或計(jì)量實(shí)驗(yàn)室不同的使用環(huán)境對(duì)工件進(jìn)行測(cè)量。測(cè)高儀可完成常用參數(shù)的測(cè)量工作，如高度、深度、孔徑、槽寬、軸心距、孔心距等參數(shù)，二維測(cè)高儀還可進(jìn)行平面度、平面角度、錐度的測(cè)量。通過使用相應(yīng)的附件還可以進(jìn)行垂直度的測(cè)量。可替代如卡尺、千分尺、角度尺等傳統(tǒng)測(cè)量工具，使用方式多樣的多功能測(cè)量設(shè)備。

TRIMOS測(cè)高儀的主要部件是Heidenhain金屬光柵尺，來保證測(cè)量精度。

光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。

光柵測(cè)量位移的原理是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。